1、斜齒輪精密行星減速機相比較于直齒輪精密行星減速機的誤差更低，斜齒輪行星減速機內部采用的是斜齒輪，在齒輪加工方面，斜齒要求的精度更高。在齒輪嚙合過程中，斜齒輪比直齒輪嚙合的更緊密，縫隙更小，所以精度更高。
2、斜齒輪具有更高的傳動效率，得益于加工復雜度和齒輪結構的精度：斜齒輪精密行星減速機在傳動精度上表現的更好，特別是在大功率行星減速機上，具有更高的扭矩和更穩定的傳動，小功率的齒輪減速機也會采用斜齒輪來降低傳動誤差;斜齒輪能夠有效的補償每個薄片齒輪誤差，這個補償對于輪齒的彈性非常有效，因而得出這樣的結果，誤差在10mm以內的齒輪都能夠使誤差起平均作用，從而大幅度減少震動，因而在有負載情況下，能和誤差為1mm以內的輪齒那樣平穩運行。因為在任何瞬時，大約有一半時間(假定重合度約為1.5)將有兩個齒嚙合，這就在強度方面帶來額外的好處，因此應力可建立在1.5倍齒寬，而不是一個齒寬的基礎上。
3、斜齒輪精密行星減速機比直齒精密行星減速機運行的更平穩，齒輪嚙合度非常高，在齒輪轉動時，減少重負載引起的減速機抖動現象。
4、斜齒輪精密行星減速機負載更大，直齒在齒輪與齒輪嚙合時，只有一個齒是保持在處分咬合狀態，而斜齒總能保持2到3個齒輪一起在咬合，所以承受的負載更重。
5、直齒精密減速機加工容易，技術比較成熟，斜齒輪精密行星減速機加工裝配技術含量高，所以，直齒的價格要比斜齒的便宜的多，根據設備精度和負載需要選擇合適產品在裝配和制造上采用機電一體化制造和裝配一大堆薄片直齒輪是既困難又不經濟，因此就制造成連成一體的，輪齒沿螺旋線方向的斜齒輪。斜齒輪不象直齒輪，它會導致不良的軸向力，但在振動和強度方面帶來的好處遠勝于由軸向推力和增加的制造成本帶來的缺點。因此，在不考慮成本的情況下，采用斜齒輪精密行星減速機代替直齒輪精密行星減速機傳動理論上是佳的選擇。
